Système de purification d'azote de haute pureté pour applications de semi-conducteurs
Le dispositif de purification d'azote de type ajout de carbone et désoxydation traite en outre 99,9 % de l'azote extrait du mécanisme de génération d'azote, provoquant la réaction chimique de 0,1 % de l'oxygène dans l'azote avec un désoxydant de carbone pour générer du dioxyde de carbone, et élimine en outre le dioxyde de carbone et la vapeur d'eau de l'azote, purifiant l'azote à plus de 99,999 %, améliorant la qualité du gaz produit, pour s'adapter aux industries ayant des exigences particulières en matière de pureté et de qualité du gaz.
Champ d'application
Convient aux utilisateurs d'azote de haute pureté, en particulier pour les matériaux magnétiques, l'industrie électronique et d'autres processus qui ont des exigences strictes en matière d'oxygène et d'hydrogène.
Paramètres techniques
| Modèle | (Nm³/h) | DN(mm) Entrée/Sortie Diamètre | (kg) Poids du carbone désoxydant | Refroidissement eau (ème) | Puissance appliquée(kw) | Zone d'équipement taille(mm) | (HBTDC) Poids moléculaire 13 X tamis(kg) | |||
| LGBT | HBTDC | LGBT | HBTDC | LGBT | HBTDC | |||||
| LGBT-130 | HBTDC-130 | ≤30 | DN25 | 130 | 0,2 | 9 | 12 | 2000*1350*2300 | 2500*1350*2300 | 75 |
| LGBT-200 | HBTDC-200 | ≤60 | DN40 | 200 | 0,5 | 18 | 22,5 | 2200*1550*2600 | 2700*1550*2600 | 100 |
| LGBT-240 | HBTDC-240 | ≤100 | DN40 | 240 | 0,8 | 24 | 30 | 2350*1850*2850 | 2850*1850*2850 | 160 |
| HBT-380 | HBTDC-380 | ≤150 | DN50 | 380 | 1.1 | 27 | 36 | 2650*1700*3350 | 3150*1700*3350 | 230 |
| HBT-430 | HBTDC-430 | ≤200 | DN50 | 430 | 1,5 | 39 | 48 | 3050*1700*3000 | 3550*1700*3000 | 230 |
| HBT-670 | HBTDC-670 | ≤250 | DN50 | 670 | 1.9 | 45 | 57 | 3250*1800*3100 | 3750*1800*3100 | 260 |
| HBT-720 | HBTDC-720 | ≤300 | DN65 | 720 | 2.2 | 45 | 57 | 3250*2100*3200 | 3750*2100*3200 | 260 |
| HBT-1200 | HBTDC-1200 | ≤400 | DN65 | 1200 | 3 | 54 | 66 | 3400*2100*3700 | 3900*2100*3700 | 260 |
| LGBT-1440 | HBTDC-1440 | ≤600 | DN65 | 1440 | 4.4 | 75 | 90 | 3800*2950*3800 | 4300*2950*3800 | 380 |
| HBT-2400 | HBTDC-2400 | ≤1000 | DN65 | 2400 | 7.4 | 90 | 105 | 5350*2950*4000 | 5850*2950*4000 | 380 |
| Remarque : les données ci-dessus sont basées sur un air d'alimentation de 0,8 Mpa (G), une température ambiante de 20 °C, une altitude de 0 m et une humidité relative de 80 % comme base de conception. Remarque 2 : La puissance est calculée en fonction du débit. La puissance dans le tableau est déterminée en fonction du débit à une pureté de 39 %. | ||||||||||
