Purificateur de gaz pour l'élimination de l'humidité et utilisé pour la fabrication de semi-conducteurs
Convient pour les semi-conducteurs électroniques, les circuits intégrés à grande échelle, les MAMS, le silicium monocristallin, le silicium polycristallin et l'épitaxie du silicium, les LED, les TFT, le nitrure de gallium, le carbure de silicium, la recherche et le développement scientifiques, l'analyse expérimentale, etc.
Caractéristiques
● Convient à l'azote, à l'hydrogène, à l'oxygène, à l'argon, à l'hélium et à l'ammoniac. La teneur en gaz brut est d'au moins 99,999 %. ● Élimination en profondeur des impuretés O2, H2O, CO, CO2, H2, N2, CH2 et NMHC à 1 ppB / 10 ppB. ● Régénération par adsorption alternée à double tour, catalyse à tour unique, adsorption Getter terminale, fonctionnement continu automatique. ● Raccords de tuyauterie en acier inoxydable poli de classe EP 316L. ● Avec un filtre de 0,003 m, le taux d'élimination peut atteindre 99,999999 % / 99,99999 %. ● L'automate Siemens peut être connecté au système DCS. ● La fonction d'alarme de sécurité est parfaite. ● Un service cloud à distance est disponible. ● Production et assemblage dans un environnement ultra propre. ● Capacité de gaz 10-20000nm3/h. |  |
