Purificateur/Système de purification/Générateur de gaz de très haute pureté

Domaines d'application : semi-conducteurs électroniques, circuits intégrés à grande échelle, MAMS, silicium monocristallin, silicium polycristallin et épitaxie de silicium, LED, TFT, nitrure de gallium, carbure de silicium, recherche et développement scientifiques, analyse expérimentale, etc.

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Caractéristiques

● Deux tours alternent la régénération par adsorption, fonctionnement continu automatique.
● Raccords de tuyauterie en acier inoxydable poli de classe EP 316L.
● Taux d'élimination jusqu'à 99,9999999 % avec un filtre de 0,003 m.
● L'automate Siemens peut être connecté au système DCS.
● La fonction d'alarme de sécurité est parfaite.
● Un service cloud à distance est disponible.
● Production et assemblage dans un environnement ultra propre.
● Capacité de gaz 10-20000nm3/h.

Paramètres du tableau

Modèles de série

Pour le gaz

Indice de gaz brut

Indice de gaz produit

LE2

Avec

LE2

H2LE

CO2

CH4

Granularité

9VV

●

≤0,1 ppb

—

≤0,1 ppb

—

0,003 mm

9OVV

●

—

●

≤0,1 ppb

—

0,003 mm

9VVX

—

●

≤0,1 ppb

0,003 mm

—

●

—

≤0,1 ppb

—

≤0,1 ppb

0,003 mm

—

●

≤0,1 ppb

0,003 mm

—

●

—

≤0,1 ppb

—

≤0,1 ppb

0,003 mm

Remarque : Spécifications de flux courantes :1-20000 Nm3/h;Pression couramment utilisée :1-20 Mpa

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